Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера - Планка - Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.
| Автор | Яфаров Равиль Кяшшафович |
| Издательство | ООО "Физматлит" |
| Дата издания | 2009 |
| Кол-во страниц | 216 |
| ISBN | 978-5-9221-1150-8 |
| Тематика | Фундаментальная и прикладная физика. Астрономия и астрофизика (н) |
| № в каталоге | 1128 |
Категории: Научная литература
