Техническая механика микросистем : учебное пособие
В пособии, посвященном механике микросистем, излагаются основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования колебаний. Рассматриваются современные конструкции микрогироскопов, акселерометров, микрозеркал, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам.
Для студентов, обучающихся по специальностям «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся исследованием и разработкой микросистемной техники.
| Автор | Тимофеев В.Н. |
| Издательство | «БИНОМ. Лаборатория знаний» |
| Дата издания | 2011 |
| Кол-во страниц | 176 |
| ISBN | 978-5-9963-0636-7 |
| Тематика | Механика |
Категории: Учебная литература
